微機械慣性傳感器檢測平臺的設計與應用

全文約4300字 論述翔實

摘要：一種用于微機械慣性傳感器研制與開發(fā)的檢測平臺，介紹電容式慣性傳感器微電容信號的檢測原理、該系統(tǒng)的總體結構、各個組成部分的工作原理及自動檢測方法。

關鍵詞：微機電系統(tǒng)（MEMS） 微機械陀螺（MMG） 檢測

隨著科學技術的發(fā)展，許多新的科學領域相繼涌現(xiàn)，其中微米/納米技術就是諸多領域中引人注目的一項前沿技術。20世紀90年代以來，繼微米/納米技術成功應用于大規(guī)模集成電路制作后，以集成電路工藝和微機械加工工藝為基礎的各種微傳感器和微機電系統(tǒng)（MEMS）脫穎而出，平均年增長率達到30%。微機械陀螺是其中的一個重要組成部分。目前，世界各個先進工業(yè)國家都十分重視對MMG的研究及開發(fā)，投入了大量人力物力，低精度的產(chǎn)品已經(jīng)問世，正在向高精度發(fā)展。