附件C：譯文
控制，自動化和系統(tǒng)的國際會議，
2007年10月17至20，韓國，首爾，COEX.

抑制高速常駐永磁直線電機（PMLM）推力波動控制算法的研究
京全金，楊滿崔，鄭宰全，大甲Gwoen（韓國高級科學(xué)和技術(shù)研究所，機械工程系，
Deajeon ，韓國，電話+82-42-869-8763; E-mail: holy-x-mas@kaist.ac.kr）

摘要：永磁體直線電機（ PMLM ）通常用于高精度運動，然而，推力波動影響高速常駐永磁電機的準確性，并且惡化系統(tǒng)的伺服性能。為了實現(xiàn)更精確的運動性能，有必要消除高速常駐永磁電機的推力波動。通過實驗，推力波動可分為通行伺服期和獨立期，我們首先證明找到一個用傅里葉級數(shù)表示的推理波動模型，用來補償推力波動的前饋控制器。擬議的控制計劃命名為由前饋控制器和RLSE （遞歸最小二乘估計）自適應(yīng)控制器組成的混合控制器。前饋控制器補償推力波動中的通行獨立組件，而RLSE （遞歸最小二乘估計）自適應(yīng)控制器補償推力波動中的通行伺服組件?；旌峡刂破鞯男阅芡ㄟ^仿真和實驗來驗證。

關(guān)鍵詞：推力波動，高速常駐永磁電機，RLSE （遞歸最小二乘估計），混合控制器

1、引言
PMLM （永磁直線電機）廣泛用于半導(dǎo)體制造工藝和需要高精度檢測的晶圓或液晶工藝。最近，由于這些加工過程中的技術(shù)已經(jīng)開發(fā)，因此，就需要如速度快，精度高和遠距離運動的詳細說明書。為了實現(xiàn)高速度，直線電機應(yīng)該有一個大的推力，因此它就將充分利用核心類型PMLM。一般來說，高精密定位系統(tǒng)采用直線電機芯，但最大推力芯直線電機是限制，因此，為了實現(xiàn)高精確度，我們設(shè)計一個控制方案，以減少系統(tǒng)包括不可避免的推力波動的干擾。
由傅里葉分析的推力波動可分為視為齒槽力的通行獨立期視和視為相互紋波的長期伺服期。通行的伺服期隨著持續(xù)增加的重量，速度，和摩擦力而增加。本