采用表面微加工技術(shù)制造微型行星齒輪減速器
摘要
這篇文章論述了一種結(jié)構(gòu)緊湊、傳動(dòng)比高的微型行星齒輪減速機(jī)構(gòu)。這種機(jī)構(gòu)的加工方法采用桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的過度平面的多極微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)去除整體結(jié)構(gòu)的冗余部分，而且這種設(shè)計(jì)原理已經(jīng)得到承認(rèn)。為了充分利用表面微加工技術(shù)，我們?cè)谠O(shè)計(jì)加工這種行星減速齒輪時(shí)，需要使用安裝在芯片上的微電機(jī)。我們將計(jì)算這種齒輪預(yù)期的減速比，并把它與傳統(tǒng)的鏈傳動(dòng)和齒輪傳動(dòng)相比較。在這篇論文中演示的微行星輪占用較少的空間，消耗較少的材料，減速比卻有望達(dá)到162：1。這比以前的論文中設(shè)計(jì)的減速器的傳動(dòng)比要高的多，簡(jiǎn)直是一個(gè)神話。
關(guān)鍵字：微機(jī)電 行星齒輪 減速器 表面微加工 過度平面的多極微機(jī)電系統(tǒng)的加工（簡(jiǎn)稱為SUMMiT V）