摘要：近年來，由于納米技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，高精度工作臺(tái)獲得了廣泛的重視。在受控對(duì)象含有積分特性的情況下，論文提出了一種基于內(nèi)模控制的響應(yīng)快、控制精度高的控制方法。首先，我們提出將內(nèi)?？刂茟?yīng)用于積分對(duì)象所存在的一些問題。接著，為了克服這些問題，我們對(duì)內(nèi)模控制引入了干擾觀測(cè)器。針對(duì)積分對(duì)象，基于干擾觀測(cè)器的內(nèi)?？刂?，相較于傳統(tǒng)的內(nèi)?？刂贫?，具有無超調(diào)、易設(shè)計(jì)以及易實(shí)現(xiàn)的優(yōu)點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，文中提出的控制系統(tǒng)獲得了高精度的定位性能，并且在存在摩擦干擾的情況下，依然能保持穩(wěn)定的魯棒性。