三維ND：YAG激光燒蝕成形的精度控制

摘要：三維激光成形的關(guān)鍵問(wèn)題是：在不降低材料去除效率的同時(shí)提高沿光軸方向的尺寸精度。本文通過(guò)直接使用加工光作為非接觸激光三角測(cè)量裝置的測(cè)量光來(lái)描述了三維激光成形的概念。由于高能量測(cè)量照片以及1.06um帶通濾波器的存在，可以有效的避免由燒蝕表面可見(jiàn)光發(fā)射所造成的干擾，激光脈沖的發(fā)生與測(cè)量之間不會(huì)延時(shí)。所以測(cè)量將不會(huì)降低材料的去除率和生產(chǎn)力。通過(guò)使用這個(gè)系統(tǒng)，當(dāng)SI3N4陶瓷的材料去除率為4.0*10^(-2)mm^3/sec時(shí)加工的精度將達(dá)到30um，而這兩者都優(yōu)于以前的試驗(yàn)結(jié)果。
關(guān)鍵字：激光成形 ；激光加工；精度