深海環(huán)境下MEMS電導(dǎo)池形變特性有限元件分析

1.55萬(wàn)字 35頁(yè) 原創(chuàng)作品，通過查重系統(tǒng)


摘 要
MEMS的中文名稱是微機(jī)電系統(tǒng)，它的發(fā)展壯大是依托在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上，成為多學(xué)科相互涉及的科學(xué)前沿技術(shù)。與傳統(tǒng)機(jī)械加工方法制造的傳感器相比，MEMS傳感器具有體積小、重量輕、功耗低、加工精度高、可大批量生產(chǎn)、成本低、易于集成等優(yōu)點(diǎn)，隨著現(xiàn)如今人們對(duì)海洋觀測(cè)的需求不斷的增加和海洋觀測(cè)的技術(shù)不斷向前發(fā)展，MEMS技術(shù)正在逐步進(jìn)入海洋觀測(cè)技術(shù)的研究領(lǐng)域。電導(dǎo)率傳感器是最常用的海洋觀測(cè)器件之一，而電導(dǎo)池是電導(dǎo)率傳感器的主要組成部分，當(dāng)采用MEMS加工工藝制作的電導(dǎo)池處在深海環(huán)境中時(shí)，受到海水壓力的影響，電導(dǎo)池會(huì)產(chǎn)生形變，從而影響海水電導(dǎo)率的測(cè)量和傳感器的性能。本文以MEMS電導(dǎo)池為研究對(duì)象，采用有限元軟件仿真的手段，對(duì)深海環(huán)境下MEMS電導(dǎo)池的形變特性進(jìn)行理論模擬，并對(duì)模擬結(jié)果進(jìn)行適當(dāng)?shù)姆治鲅芯浚芯康慕Y(jié)果可以用于指導(dǎo)深海環(huán)境中MEMS電導(dǎo)率傳感器性能的提升。


關(guān)鍵詞：深海環(huán)境下；MEMS電導(dǎo)池；形變特性；有限元件分析；ANSYS