低氣壓射頻放電等離子體特性參數(shù)的研究

1.13萬(wàn) 29頁(yè) 原創(chuàng)作品，通過(guò)查重系統(tǒng)


摘要
本文簡(jiǎn)要介紹了等離子體的特性和等離子體光譜診斷的原理及進(jìn)展，通過(guò)光譜診斷系統(tǒng)測(cè)量了低氣壓射頻等離子體發(fā)射光譜，利用玻爾茲曼曲線斜率法計(jì)算了等離子體電子溫度并與等離子體源的放電模擬結(jié)果對(duì)比分析。結(jié)果表明，等離子體光譜診斷結(jié)果符合comsol模擬封閉式等離子體內(nèi)部電子溫度分布的一般規(guī)律， 等離子體區(qū)域電子溫度隨射頻電壓的增加而升高，隨氣壓的增強(qiáng)而降低，隨射頻電源頻率變化不明顯。由于進(jìn)氣口和出氣口位置導(dǎo)致的內(nèi)部氣體分布不均等原因， 使得電子溫度呈一定的梯度分布， 這對(duì)于等離子體對(duì)電磁波的吸收是一個(gè)有利條件。課題所研究的低氣壓射頻放電等離子體特性參數(shù)，將有助于研究滿足軍事裝備需要的等離子體源。


關(guān)鍵詞：等離子體 射頻放電 光譜診斷 電子溫度