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一種集成式的高分辨率光學(xué)角位移傳感器

摘要
最近一種新穎體型又小的光學(xué)角位移傳感器被研發(fā)了出來。這種傳感器由兩部分組成，一部分是轉(zhuǎn)動部分，其上制作有反射模塊，第二部分是固定部分，其上有光檢測器和讀出電路，它們集成在一個標(biāo)準(zhǔn)的雙極場效應(yīng)晶體管集成電路（BiFET IC）處理器中。
高分辨率絕對角位置測量是通過把高解析度增量模擬傳感器部分的信息與低分辨率絕對二進(jìn)制傳感器部分的信息組合起來實現(xiàn)的。高效率傳感器部分是由一個表面有著“Z”型形狀的轉(zhuǎn)子和裝有位置敏感性裝置的定子組成。低效率傳感器部分則包含反射二進(jìn)制代碼的轉(zhuǎn)子和安裝有光電二極管陣列的定子。角度位移將會導(dǎo)致光電二極管陣列代碼的變化和反射光斑在位置敏感性裝置（PSD）整個量程之間來回移動，這樣就實現(xiàn)兩個代碼之間的轉(zhuǎn)變。