微位移技術(shù)概述

[摘要] 隨著社會(huì)的發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，人類對(duì)各類設(shè)備的精密度要求越來(lái)越高，這推動(dòng)了精密、超精密技術(shù)的發(fā)展，也帶動(dòng)了直接影響精密、超精密加工精度、精密測(cè)量精度及超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)水平的微位移技術(shù)的發(fā)展，作為精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之一—微位移技術(shù)是近年來(lái)隨著微電子技術(shù)、宇航、生物工程等學(xué)科的發(fā)展而迅速的發(fā)展起來(lái)，在近代尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)占有極為重要的地位。本文主要介紹了各類微位移平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)原理及目前國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀。

[關(guān) 鍵 詞] 微位移平臺(tái) 驅(qū)動(dòng)原理 關(guān)鍵技術(shù) 現(xiàn)狀 發(fā)展趨勢(shì)