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一種新型綜合的多軸配置并聯(lián)運(yùn)動(dòng)學(xué)機(jī)構(gòu)第1部分.關(guān)于制作的運(yùn)動(dòng)學(xué)設(shè)計(jì)

摘要
多軸微型和配置系統(tǒng)正越來越多地用于大部分的計(jì)量和工藝設(shè)備相關(guān)領(lǐng)域納米科技。這一點(diǎn)，首要的一個(gè)由兩部分組成的系列文章對(duì)一種新型的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，平行運(yùn)動(dòng)軸XYZ維的配置（ pkxyznp ） 現(xiàn)階段，專注于發(fā)展一個(gè)可行的計(jì)劃，以實(shí)現(xiàn)抽象的空間轉(zhuǎn)化。第一，這個(gè)機(jī)械裝置是容納了兩個(gè)封閉形式解決方案;正向和反向運(yùn)動(dòng)學(xué)的問題。雅可比與動(dòng)力系統(tǒng)表明，該機(jī)械結(jié)構(gòu)產(chǎn)生相關(guān)的比較大的工作量，并且能將高帶寬和均勻性融合交叉。制備系統(tǒng)描述隨著的一些基本測(cè)試，其雅可比及其模態(tài)頻率。用電容計(jì)，這樣的步驟是能產(chǎn)生85_m 左右的運(yùn)動(dòng)并沿每個(gè)軸分辨率約為2-4 nm左右?？刂茰y(cè)試以及性能表現(xiàn)用來詳細(xì)討論相似的文件。

關(guān)鍵詞：納米;平行運(yùn)動(dòng)學(xué);柔性階段;運(yùn)動(dòng)學(xué)分析;步驟設(shè)計(jì)